等离子体放电原理与材料处理

出版时间:2007-3  出版社:科学出版  作者:(美)迈克・A.力伯曼(Michael A.Lieberman),阿伦・J.里登伯格(Allan J.Lichtenberg) 著,蒲以康 等译  页数:535  译者:蒲以康  
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内容概要

本书全面深入地介绍等离子体物理和化学的基本原理,以及工业等离子体材料处理的原理,并应用基本理论分析各种常见等离子体源的放电状态。书中还介绍半导体材料的刻蚀、薄膜沉积,离子注入等低温等离子体在材料处理方面的应用,反映本领域的最新研究进展。全书共18章,内容包括等离子体的基础知识、等离子体放电过程中的粒子平衡和能量平衡、容性和感性放电、波加热的气体放电、直流放电、刻蚀、沉积与注入、尘埃等离子体,以及气体放电的动理论等。    本书可供等离子体物理领域的研究生、技术人员,以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。

作者简介

迈克尔·A·力伯曼,博士,加利福尼亚大学伯克利分校电子工程研究生院教授,曾发表170多篇有关等离子体、等离子体材料处理和非线性动力学方面的研究论文,而且同里登伯格教授合著有Regular and Stochastic Motion和Regular and Chaotic Dynamics(第二版)。

书籍目录

第1章 概述 1.1 材料处理 1.2 等离子体和鞘层  1.2.1 等离子体   1.2.2 鞘层  1.3 放电  1.3.1 射频二极放电系统  1.3.2 高密度等离子体源 1.4 符号和单位第2章 等离子体的基本方程和平衡态性质 2.1 引言 2.2 场方程、电流和电压  2.2.1 麦克斯韦方程组 2.3 守恒方程  2.3.1 玻尔兹曼方程  2.3.2 宏观量  2.3.3 粒子数守恒方程   2.3.4 动量守恒方程  2.3.5 能量守恒方程  2.3.6 小结 2.4 平衡态性质  2.4.1 玻尔兹曼关系式  2.4.2 德拜长度  2.4.3 准电中性 习题第3章 原子碰撞 3.1 基本概念  3.1.1 弹性和非弹性碰撞  3.1.2 碰撞参数  3.1.3 微分散射截面 3.2 碰撞动力学  3.2.1  质心坐标系    3.2.2  能量转移    3.2.3  小角度散射   3.3  弹性散射    3.3.1  库仑碰撞    3.3.2  极化散射   3.4  非弹性碰撞    3.4.1  原子能级    3.4.2  电偶极辐射和亚稳态原子  3.4.3  电子碰撞电离截面  3.4.4  电子碰撞激发截面  3.4.5  离子一原子电荷转移   3.4.6  离子一原子碰撞电离  3.5  求分布函数下的平均值和表面效应  3.5.1  麦克斯韦分布下的平均值  3.5.2  每产生一个电子一离子对所造成的能量损失  3.5.3  表面效应 习题第4章  等离子体动力学 4.1  基本运动  4.1.1  在均匀常场中的运动  4.1.2  E×B漂移  4.1.3  能量守恒 4.2  非磁化等离子体动力学  4.2.1  等离子体振荡  4.2.2  介电常数和电导率  4.2.3  欧姆加热  4.2.4  电磁波  4.2.5  静电波 4.3  导向中心运动  4.3.1  平行力  4.3.2  磁矩的绝热不变性  4.3.3  沿磁力线运动产生的漂移(曲率漂移)  4.3.4  由回旋运动产生的漂移(梯度漂移)  4.3.5 极化漂移……第5章 扩散和输运第6章 直流鞘层第7章 化学反应和平衡第8章 分子磁撞第9章 化学动力学与表面过程第10章 放电过程中的粒子平衡和能量平衡第11章 容性放电第12章 感性放电第13章 波加热的气体放电第14章 直流放电第15章 刻蚀第16章 沉积与注入第17章 尘埃等离子第18章 气体放电的动理论附录A 碰撞动力学附录B 碰撞积分附录C 变迁移率模型中的扩散方程的解参考文献

编辑推荐

《等离子体放电原理与材料处理》可供等离子体物理领域的研究生、技术人员,以及微纳电子领域的科技研发人员参考学习。

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用户评论 (总计47条)

 
 

  •     等离子体放电与材料处理这本书很好。
  •     关于等离子体与材料相互作用的经典书籍,翻译的也很好
  •     书很厚,印刷质量很好,内容基本包括到低温等离子体的方方面面,值得买
  •     这本书写的很好,翻译的也好。从事低温等离子体的一定要看啊
  •     很专业的一本书,解答了我很多困惑,推荐微电子清洗刻蚀方面的人看一看
  •     主要涉及应用层面,比较浅显。
  •     好高深啊,值得研究
  •     书的纸张不错 字体清晰 内容很细
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  •     此书内容丰富,正是求之所得。好书。
  •     还没有来得及仔细看,第一印象分量很足,内容也很详细
  •     内容很全,讲的也很细。
  •     内容非常丰富而又极具系统。一本好书!
  •     很专业的一本书,推荐微电子清洗刻蚀方面的人看一看
  •     very nice! a terrific classic works !
  •     很不错,要是有光谱诊断就更好了
  •     安全,放心!
  •     Imhappywithit
  •     比较详细的介绍了等离子放电的原理和与材料处理相关的知识,适合从事该专业的人自学用.
  •     内容挺丰富,等离子相关的东西介绍很全面,偏理论一点,科学出版社的书一般都是这样,以公式数据说话。
  •     还不错吧,内容全面,推荐!
  •     我们博士的教材,经典的哦!
  •     当当网的书是值得肯定,但是快递很慢(10天才收到)须改善!
  •     我选了两本书你们现无货,请尽快进货,以便我们购买
  •     发现这本书当当又涨价了
  •     经典书籍但是书籍的纸张不是很好
  •     质量很好很不错
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  •     我买了两本,不知道跟英文版相比如何
  •     以为是关于结构的,实际上里面有点罗列的感觉,希望有个自己的体系
  •     翻译的不错,相关专业的必备书籍。
  •     如果想看关于等离子体气体放电的书,国内有一本杨津基的很好,复旦的徐学基的那本讲的不是很清楚。或者看这本。
  •     关于等离子体的一本好书,非常值得学习
  •     这本书的英文版非常不错,中文翻译的一般吧,但对于懒得看英文的来说,还是非常实用的
  •     学习相关问题的可以参考一下
  •     原著是一本非常优秀的著作,翻译的质量也不错,但是印刷的错误太多,严重影响阅读理解。本书如果不是盗版的,那么科学出版社的校对和编辑都可以下岗了。
  •     等离子体专业领域的好事
 

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