薄膜技术与薄膜材料

出版时间:2006-8  出版社:清华大学出版社  作者:田民波  页数:962  字数:1213000  
Tag标签:无  

内容概要

薄膜及微细加工技术的应用范围极为广泛,从大规模集成电路、电子元器件、平板显示器、信息记录与存储、MEMS、传感器、太阳能电池,到材料的表面改性等,涉及高新技术产业的各个领域。本书内容包括真空技术基础、薄膜制备、微细加工、薄膜材料及应用、薄膜成分与结构分析等5大部分,涉及薄膜技术与薄膜材料的各个方面,知识全面,脉络清晰。全书共17章,文字通俗易懂,并配有大量图解,有利于对基本知识的理解、掌握与运用。对于从事相关行业的科技工作者与工程技术人员,本书具有极为难得的参考价值,同时也是其他感兴趣读者了解薄膜材料与技术在高新技术中应用的一本很好的入门书籍。

书籍目录

第1章 薄膜与高新技术第2章 真空技术基础 2.1 真空的基本知识 2.2 真空的表征 2.3 气体分子与表面的相互作用第3章 真空泵与真空规  3.1 真空泵 3.2 真空测量仪器——总压强计第4章 真空装置的实际问题 4.1 排气的基础知识 4.2 材料的放气 4.3 排气时间的估算 4.4 实用的排气系统 4.5 检漏 4.6 大气温度与湿度对装置的影响 4.7 烘烤用的内部加热器 4.8 化学活性气体的排气第5章 气体放电和低温等离子体 5.1 带电粒子在电磁场中的运动 5.2 气体原子的电离和激发 5.3 气体放电发展过程 5.4 低温等离子体概述 5.5 辉光放电 5.6 弧光放电 5.7 高频放电 5.8 磁控放电 5.9 低压力、高密度等离子体放电第6章 薄膜生长与薄膜结构 6.1 薄膜生长概述 6.2 吸附、表面扩散与凝结 6.3 薄膜的形核与生长 6.4 连续薄膜的形成 6.5 薄膜的生长过程与薄膜结构 6.6 非晶态薄膜 6.7 薄膜的基本性质 6.8 薄膜的粘附力和内应力 6.9 电迁移第7章 表面结构与薄膜的外延生长 7.1 理想表面结构 7.2 清洁表面结构 7.3 实际表面结构 7.4 薄膜的外延生长 7.5 影响薄膜外延的因素第8章 薄膜沉积的共性问题 8.1 成膜工艺与膜材料简介 8.2 源和膜的成分——如何得到所需要的膜成分 8.3 附着强度——如何提高膜层的附着强度 8.4 台阶涂敷,绕射着膜率,孔底涂敷——如何在大凹凸表面沉积厚度均匀的膜层 8.5 等离子体及其在薄膜沉积中的作用——膜质的改善、新技术的开发 8.6 基板的传输机构 8.7 膜层中的针孔和超净工作间第9章 真空蒸镀 9.1 概述 9.2 镀料的蒸发 9.3 蒸发源 9.4 蒸发源的蒸气发射特性与基板配置 9.5 蒸镀装置及操作 9.6 合金膜的蒸镀 9.7 化合物膜的蒸镀 9.8 脉冲激光熔射(PLA) 9.9 分子束外延技术第10章 离子镀和离子束沉积 10.1 离子镀的原理 10.2 离子镀的类型及特点 10.3 离子束沉积 10.4 离子束混合第11章 溅射镀膜 11.1 离子溅射 11.2 溅射镀膜方式 11.3 磁控溅射源 11.4 溅射镀膜的实例第12章 化学气相沉积(CVD) 12.1 热氧化、氮化 12.2 热CVD 12.3 等离子体CVD(PCVD) 12.4 光CVD(photo CVD) 12.5 有机金属CVD(MOCVD) 12.6 金属CVD585 12.7 半球形晶粒多晶Si?CVD(HSG?CVD) 12.8 铁电体的CVD 12.9 低介电常数薄膜的CVD第13章 干法刻蚀 13.1 干法刻蚀与湿法刻蚀 13.2 等离子体刻蚀——激发反应气体刻蚀 13.3 反应离子刻蚀(RIE) 13.4 反应离子束刻蚀(RIBE) 13.5 气体离化团束(GCIB)加工技术 13.6 微机械加工 13.7 干法刻蚀用离子源的开发第14章 平坦化技术 14.1 平坦化技术的必要性 14.2 平坦化技术概要 14.3 不发生凹凸的薄膜生长 14.4 沉积同时进行加工防止凹凸发生的薄膜生长 14.5 薄膜生长后经再加工实现平坦化 14.6 埋入技术实例 14.7 化学机械研磨(CMP)技术 14.8 气体离化团束(GCIB)加工平坦化 14.9 镶嵌法布线及平坦化 14.10 平坦化技术与光刻制版术第15章 薄膜材料 15.1 金属薄膜材料 15.2 无机、陶瓷薄膜材料 15.3 有机、聚合物薄膜材料 15.4 半导体薄膜材料第16章 薄膜材料的应用 16.1 表面改性 16.2 超硬膜用于切削刀具 16.3 能量变换薄膜与器件 16.4 传感器 16.5 半导体器件 16.6 记录与存储 16.7 平板显示器 16.8 金刚石薄膜的应用 16.9 太阳能电池 16.10 发光器件第17章 薄膜材料的评价表征及物性测定 17.1 薄膜材料评价表征的特殊性 17.2 薄膜材料评价表征方法及其选择 17.3 薄膜材料的评价表征 17.4 相关技术和装置 17.5 薄膜材料评价表征举例 17.6 薄膜材料的物性测定附录A 各种元素的温度—蒸气压特性附录B 元素的电离电位附录C 物理常数表附录D(新旧)常用计量单位对照与换算附录E 能量换算表、压力换算表及气体的性质表附录F 半导体大规模集成电路的发展预测附录G 示屏的图像分辨率等级、图像分辨率(像素数)和宽高比附录H 元素周期表附录I 薄膜技术与薄膜材料领域常用缩略语注释参考文献

编辑推荐

《薄膜技术与薄膜材料》具有极为难得的参考价值,同时也是其他感兴趣读者了解薄膜材料与技术在高新技术中应用的一本很好的入门书籍。

图书封面

图书标签Tags

评论、评分、阅读与下载


    薄膜技术与薄膜材料 PDF格式下载


用户评论 (总计53条)

 
 

  •   在薄膜技术方面,这本书算是比较全面和权威了。全书对基本原理的介绍很扎实,可以作为入门用的教科书。也附录了大量数据,可以用作工具书。
  •   应该是薄膜材料类书籍中非常经典、非常全面的一本是了
  •   这本书真的很全面,将真空镀膜的基本各方面都讲到了。如果看完了会对这个行业从整体上全面了解。但是我觉得对现在流行的磁控溅射技术讲得太少了
  •   真空行业总体来说比较窄,但应用的行业却很多,以至于书籍也比较少,要不就是很早以前的书,这本书虽然讲的比较宽泛点,但可以对真空有很清楚,系统的认识.建议大家买来看看!
  •   内容很全面,如果再加上这几年的新技术就更完美了。
  •   很实用的工业技术,从基础开始,一步一步深入!难得的好书!大家都要支持!
  •   看了一部分,内容写的通俗易懂,还很全面。
  •   很全面,挺好的!
  •   本书内容详实,全面,是本行业一本不错的工具书,值得购买!
  •   跟专业很挂钩,而且介绍的内容也很全面
  •   该书很详细,去论对初学者,还是对已学者,都是一本非常有价值的书。
  •   在专业领域的确有所帮助
  •   自己买了一本在看
    老板看见了觉得不错,托我又给他买了一本。实用,全面
  •   非常全面,还不错
  •   这本书对我非常有用,由于是比较专业的一本书,在许多书店都没有看到,在当当购物便宜又方便。太棒了!
  •   很不错,内容丰富,原理清楚
  •   刚收到,看起来不错,又帮朋友买了一本
  •   很翔实
  •   书不错,是正版,镀膜必备
  •   有的看不懂 总体不错
  •   正版,可当板砖用
  •   我是专门搞这个的 用了很方便的啊
  •   是正版书,送书速度快,书质量也不错。
  •   学习借鉴
  •   质量很好,正在阅读。
  •   书正是我所需要的,对我很有用。感谢!
  •   你们的服务很好!!!!!!!
  •   买回来迫不及待地翻了一遍,非常实用,是本好书,值得购买。
  •   好书,当字典那种类型的用
  •   这本书比较全是真的,但是任何东西只要一考虑的东西多,就很难保证深度了,这也是难以避免的。书中讲CVD的太过浅显粗糙,公式的推导还是不是很好,但作为大概了解真空系统和真空技术的参考书还是不错的。建议先看看PDF版再决定买还是不买!
  •   这本书比较专业,本专业用挺好的!
  •   不错,内容全面
  •   内容比较全面,讲的比较通彻,好书一本
  •   我是第一次在网上购物,买的是一本书,价格是七八折,因为是稀缺书,在外面书店很少有折打,比较便宜。邮寄回来后,我看书非常新,比购书中心书价上的那些要包装质量好很多。最令我满意的是我下了定单到拿到书总共才七天时间。(比想像中快很多)。另外,货到后再付款也的确很好。谢谢!!
  •   书倒是正版的,挺不错……
  •   收到书,前言几页都已经脱落,非常失望
  •   书确实不错,对专业讲解比较细致,但是当当送货也太慢了,都一个礼拜才到,还有这书有皱的,侧边都有好多脏的,实在是难以恭维,当当今后是该改改了,如果总送这样的书,恐怕我也不敢买了。
  •   书还不错,我是学这个的,是老师叫我买的,应该是本好书。
  •   书很快就到了,我买了两本,很不错
  •   怎么说呢?内容当然很全面,真空原理及装置部分、薄膜生长原理、薄膜沉积工艺、薄膜微细加工、薄膜材料及应用等等,不折不扣一个大部头,对镀膜的工程实践肯定有所帮助。遗憾的是,真空原理及装置的这几章内容讲的粗糙了一点,原理不够深入,泵的结构图不够明晰,公式推导简直没有。只能说一般了。
  •   该详细的地方不详细
  •   不错的书,但是有破损,估计是运输造成的,望以后多多注意
  •   感觉只讲了大概,不明白.
  •   书还比较好
  •   其中在第三章真空泵和真空规完全是日本麻蒔立男 写的《薄膜制备技术基础》中文版本的再翻译,到了第四章真空装置的实际问题一章中就完全照抄中文版本的内容了 连标点符号图片都用人家的。田民波清华大学的老教授了 感觉中国学术烂到家了 丢人
  •   看了一段时间 结果老板的被人家借走了就把我的拿去了 没办法只有再买一本
  •   专业书籍还是很好的啊
  •   内容很系统,对工作有指导意义
  •   不错~帮老板购买的,工厂技术参考价值有
  •   你说都这么厚了,做专业点该是多么专业的事情呢
  •   真的能看完这本书,你就不得了了!
  •   很早前没的了,很好的一本书
  •   这是一部非常专业、非常系统的薄膜图书。
 

250万本中文图书简介、评论、评分,PDF格式免费下载。 第一图书网 手机版

京ICP备13047387号-7